Máy phủ phún xạ Cressington 208HRD cho FE/SEM

Đầu phún xạ: Planar magnetron. Thay bia phún xạ nhanh (Quick target change). Tấm chắn vùng tối bao quanh (Wrap-around dark-space shield). Màn chắn để điều kiện hóa bia (Shutter for target conditioning)

Bia phún xạ: Cr, Pt/Pd, Ir (xem danh sách đầy đủ)

Bộ nguồn phún xạ: Dựa trên vi xử lý. Có khóa liên động an toàn. Điều khiển dòng không đổi (constant current), độc lập với mức chân không. Dòng điện có thể chọn kỹ thuật số (20, 40, 60 hoặc 80mA)

Kích thước buồng: Đường kính ngoài 150mm (6"). Kèm buồng ngắn 65mm. Khoảng cách lắng đọng theo chiều dọc đến bàn RPT có thể thay đổi bằng cách thêm vòng đệm kim loại cao 15mm (kèm 2 vòng). Tùy chọn bàn cố định với buồng cao 150mm và vòng đệm bổ sung có sẵn (#7021-208HR)

Bàn đặt mẫu: nghiêng thủ công 0–90°. Tốc độ xoay có thể điều chỉnh. Đầu tinh thể (Crystal head). 4 giá đỡ mẫu (vui lòng chỉ định khi đặt hàng, xem phần Giá đỡ mẫu)

Đồng hồ đo tương tự: Chân không: từ áp suất khí quyển (Atm) đến 0.001 mbar. Dòng điện: 0–100mA. Điện áp: 0–500V

Phương thức điều khiển: Vận hành tự động chức năng xả khí (purge) và kiểm tra rò rỉ (leak). Trình tự quy trình tự động. Bộ hẹn giờ kỹ thuật số (1–600 giây) có chức năng tạm dừng (pause). Xả khí tự động (Automatic venting)

Điều khiển độ dày: Bộ điều khiển MTM-20 có chức năng tự động dừng (terminating facility)

Kích thước: Rộng 600mm (23.6") x Sâu 600mm (23.6") x Cao 450mm (17.7") (kèm bơm)

Khối lượng: 40kg (88.5 lbs) (kèm bơm)