Máy phún xạ phủ carbon tự động Cressington 108C

Giới thiệu máy phún xạ carbon 108C

108C Auto Carbon Coater là một trong những máy phún xạ phủ mẫu tiên tiến nhất hiện có, chuyên dùng để phủ lớp carbon lên các mẫu không dẫn điện trước khi phân tích X-ray trên SEM. Hệ thống bay hơi thanh carbon (rod evaporation) với điều khiển phản hồi (feedback-controlled) độc đáo cho phép thực hiện nhiều lần bay hơi liên tiếp với độ dày khoảng 20nm mà không cần tạo hình hay điều chỉnh thanh carbon. Các thanh carbon bậc (stepped carbon rods) độ tinh khiết cao được sử dụng trong 108C Auto mang lại chất lượng lớp phủ vượt trội, đáp ứng yêu cầu quan sát ở độ phóng đại cao. 108C là hệ thống nhỏ gọn, dễ vận hành và có chu kỳ hút chân không rất nhanh. Tùy chọn MTM-10 High Resolution Thickness Monitor cho phép điều chỉnh màng carbon dẫn điện chính xác theo đúng yêu cầu của từng mẫu.

108C Auto Carbon Coater sử dụng bộ nguồn bay hơi hoàn toàn mới. Dòng điện và điện áp được giám sát bởi các dây cảm biến (sensor wires) tích hợp trong đầu máy, và nguồn bay hơi được điều khiển như một phần của vòng phản hồi (feedback loop). Bộ nguồn này mang lại độ ổn định và khả năng tái lập (reproducibility) xuất sắc cho nguồn cấp thanh carbon thông thường. Mức tiêu thụ điện năng thấp, và nguồn bay hơi có đặc tính khởi động lại đặc biệt tốt. Nguồn bay hơi có thể vận hành ở chế độ "xung" (pulse) hoặc "liên tục" (continuous).

108C Auto Carbon Coater cho phép lựa chọn vận hành thủ công hoặc tự động:

• Ở chế độ tự động, nguồn bay hơi hoạt động theo điện áp lập trình sẵn trong thời gian lập trình sẵn. Bộ lập trình dễ dàng điều chỉnh và hiển thị điện áp cùng thời gian dưới dạng kỹ thuật số.
• Ở chế độ thủ công, bộ nguồn độc đáo của 108C Auto Carbon Coater có thể vận hành ở chế độ "xung" (pulse) hoặc "liên tục" (continuous), với điện áp đầu ra được cài đặt bằng núm xoay.

108C Auto Carbon Coater có thể được trang bị thêm MTM-10 Thickness Monitor (tùy chọn). Độ phân giải đo độ dày tốt hơn 0.1nm đối với carbon. Sử dụng kết hợp cẩn thận giữa thiết bị đo độ dày và bộ điều khiển bay hơi giúp đạt được khả năng tái lập độ dày lớp phủ tốt hơn trong dải hữu dụng từ 15nm đến 25nm.

108C có buồng đường kính ngoài 120mm. Đối với hệ thống buồng lớn hơn, 108C Auto/SE cũng có sẵn với buồng đường kính ngoài 150mm, hỗ trợ tùy chọn bổ sung Rotary-Planetary-Tilting Stage (bàn xoay-hành tinh-nghiêng) hoặc Rotary-Tilting Stage (bàn xoay-nghiêng). 

Lưu ý: không có tùy chọn bàn xoay cho dòng 108C.