Máy phún xạ phủ/mạ Cressington 108 Auto

Name: Máy phún xạ phủ/mạ Cressington 108 Auto
SKU: Cressington 108 Auto
Availability: InStock
Rating: 5.00 (1 reviews)

Mã:

Cressington 108 Auto

0 đánh giá

Thương hiệu:

N/A

Bảo hành:

12 tháng

Giá: Liên hệ

Đang có sẵn: Vui lòng liên hệ

Yêu cầu báo giá

Tạm thời chưa có khuyến mãi cho sản phẩm này

Hotline: 0906.988.447

Liên hệ: Hồ Chí Minh

Điện thoại: (028).3977.8269
Email: [email protected]
Địa chỉ: 487 Cộng Hòa, Phường Tân Bình, TP. Hồ Chí Minh, Việt Nam

Liên hệ: Bắc Ninh, Hà Nội

Điện thoại: (0222).730.0180
Email: [email protected]
Địa chỉ: 184 Bình Than, Phường Võ Cường, Bắc Ninh, Việt Nam

Tư vấn kĩ thuật Miễn phí
Miễn phí vận chuyển Đơn hàng trên 3 triệu

Thông số kỹ thuật

Kích thước buồng: Đường kính ngoài 120mm x cao 120mm (4.75 x 4.75")

Bia phún xạ (Target): Au lắp sẵn theo tiêu chuẩn, Au:Pd, Pt, Pt:Pd tùy chọn. Đường kính 57mm x dày 0.1mm

Bàn đặt mẫu: Giữ được 12 giá gắn mẫu SEM dạng chân cắm (SEM pin mounts). Có thể điều chỉnh chiều cao trong phạm vi 60mm

Nguồn phún xạ: Dựa trên vi xử lý (Microprocessor based), có khóa liên động an toàn (safety interlock), có thể điều chỉnh, dòng tối đa 40mA

Đầu phún xạ: DC magnetron phẳng (planar magnetron) điện áp thấp kiểu "ultra-cool". Thay bia nhanh (Quick target change). Tấm chắn vùng tối bao quanh (Wrap-around dark-space shield)

Đồng hồ đo tương tự (Analog metering): Đo chân không từ áp suất khí quyển (Atm) đến 0.001 mbar

Đo độ dày lớp phủ: Model MTM-10 (tùy chọn)

Phương thức điều khiển: Điều chỉnh khí và dòng điện thủ công. Van kim chính xác (Precision needle valve). Bộ hẹn giờ kỹ thuật số (5–300 giây) có chức năng tạm dừng (pause). Xả khí thủ công (Manual vent)

Hệ thống để bàn: Máy bơm chân không thiết kế nhỏ gọn, vận hành ít rung động. Hệ thống khớp nối tích hợp toàn kim loại (All metal integrated coupling system)

Điện: 100–120 V hoặc 200–240 VAC, 50/60 Hz (vui lòng chỉ định khi đặt hàng)

Công suất tiêu thụ: 500 VA (bao gồm máy phủ và hệ thống bơm #7010)

Khí Argon: Độ tinh khiết tối thiểu 99.99%. Áp suất làm việc 5–6 psi (0.4 bar). Kết nối ống dẫn 6.0mm (1/4")

Mô tả sản phẩm
Phụ kiện

Giới thiệu máy phún xạ thủ công Cressington 108

108 Auto Sputter Coater được thiết kế tối ưu cho việc phủ lớp chất lượng cao lên các mẫu không dẫn điện, phục vụ chụp ảnh SEM tiêu chuẩn. Các tính năng tự động hóa nâng cao cho phép tạo lớp phủ hạt mịn trên nhiều loại mẫu với nhiều lựa chọn vật liệu bia. Chức năng tự động xả khí (auto purge) và kiểm tra rò rỉ (leak), kết hợp với MTM-20 High Resolution Thickness Controller tùy chọn, đảm bảo độ dày lớp phủ đồng đều, cho kết quả phủ dẫn điện tối ưu. Quá trình phún xạ mát và hạt mịn được thực hiện nhờ đầu DC magnetron điện áp thấp hiệu suất cao. Hệ thống thay bia nhanh (quick-change target) cho phép sử dụng nhiều loại kim loại khác nhau.

Đặc điểm nổi bật của Cressington 108 Auto

108 Auto Sputter Coater cho phép lựa chọn vận hành hoàn toàn tự động hoặc thủ công. Thiết bị còn được trang bị tính năng điều khiển xả khí argon tự động (automatic argon purge control).
Ở chế độ tự động, máy có thể được điều khiển theo hai cách: sử dụng bộ hẹn giờ kỹ thuật số để tạo ra các lớp phủ lặp lại nhất quán, hoặc sử dụng MTM-20 High Resolution Thickness Controller (Option) để tự động dừng quá trình phún xạ khi đạt độ dày mong muốn. Ngoài ra, MTM-10 High Resolution Thickness Monitor (Option) cũng có thể được dùng để dừng thủ công.
Bộ điều khiển dòng phún xạ kỹ thuật số hoàn toàn độc lập với áp suất khí argon trong buồng phún xạ, đảm bảo tốc độ phún xạ ổn định và độ phủ mẫu tối ưu.
DC magnetron hiệu suất cao vận hành ở điện áp thấp theo kiểu "ultra-cool" — giúp quá trình diễn ra cực mát, tránh tác động lên bề mặt mẫu.
Thiết kế magnetron mới cho góc phủ rộng ở khoảng cách gần với mẫu, phù hợp ngay cả với các mẫu nhạy cảm.
Các van điện tử riêng biệt cho chức năng kiểm tra rò rỉ (leak) và xả khí (purge), kết hợp với van kim chính xác, đảm bảo vận hành nhanh chóng và dễ dàng.
Hệ thống thay bia nhanh cho phép sử dụng nhiều loại vật liệu: Au, Au/Pd, Pt, Pd, Cu, Ag. Bia phún xạ bằng vàng (Au) được báo giá riêng theo tiêu chuẩn, các loại bia khác báo giá theo yêu cầu.
108 Auto Sputter Coater có thể được lắp đặt tại nhà máy hoặc nâng cấp bổ sung sau bất kỳ lúc nào với MTM-20 High Resolution Thickness Controller (Option).
Rotary-Tilting (RT) Stage — bàn xoay-nghiêng tùy chọn — cũng có sẵn cho 108 Auto Sputter Coater.

Xem thêm