Máy phún xạ Cressington 108 Auto/SE

Kích thước buồng: Đường kính ngoài 150mm x cao 165mm (5.9 x 6.5")

Bia phún xạ (Target): Au lắp sẵn theo tiêu chuẩn, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (Option). Đường kính 28mm x dày 0.2mm

Bàn đặt mẫu: Giữ được 12 giá gắn mẫu SEM dạng chân cắm (SEM pin mounts). Có thể điều chỉnh chiều cao trong phạm vi 60mm

Nguồn phún xạ: Dựa trên vi xử lý (Microprocessor based). Có khóa liên động an toàn (Safety interlock). Điều khiển dòng điện độc lập với mức chân không. Dòng điện có thể chọn kỹ thuật số (10, 20, 30 hoặc 40mA)

Đầu phún xạ: Thiết kế magnetron mới điện áp thấp. Thay bia nhanh (Quick target change). Tấm chắn vùng tối bao quanh (Wrap-around dark-space shield)

Đồng hồ đo tương tự (Analog metering): Đo chân không từ áp suất khí quyển (Atm) đến 0.001 mbar. Dòng điện: 0 – 50mA

Theo dõi độ dày lớp phủ: Tùy chọn, MTM-10

Bộ điều khiển độ dày lớp phủ: Tùy chọn, MTM-20 có chức năng tự động dừng (termination facility)

Phương thức điều khiển: Vận hành tự động chức năng xả khí (purge) và kiểm tra rò rỉ (leak). Trình tự quy trình tự động (Automatic process sequencing). Ghi đè thủ công toàn phần (Full manual override). Bộ hẹn giờ kỹ thuật số (1–300 giây)

Hệ thống để bàn: Máy bơm chân không thiết kế nhỏ gọn, vận hành với độ rung thấp. Hệ thống khớp nối tích hợp toàn kim loại (All metal integrated coupling system)

Yêu Cầu Vận Hành

Điện: 100–120 V hoặc 200–240 VAC, 50/60 Hz (vui lòng chỉ định khi đặt hàng)

Công suất tiêu thụ: 500 VA (bao gồm máy phủ và hệ thống bơm #7010)

Khí Argon: Độ tinh khiết tối thiểu 99.99%. Áp suất làm việc 5–6 psi (0.4 bar). Kết nối ống dẫn 6.0mm (1/4")